2017年度国家科学技术奖励大会于2018年1月8日在北京召开，习近平、李克强等国家领导人参加大会，并为获奖人员颁奖。中心赵玉龙教授等主持的项目“高动态MEMS压阻式特种传感器及系列产品”获国家技术发明二等奖。西安交大主持7个项目获得国家科学技术奖，获奖数位居全国高校第二，其中1项国家科技进步奖创新团队奖一等奖，2项国家自然科学奖二等奖，2项国家技术发明奖二等奖，2项国家科技进步奖二等奖。

高动态MEMS压阻式特种传感器及系列产品（国家技术发明奖）

赵玉龙、赵立波、田边、蒋庄德、王冰、王瑞

航空航天发动机、导弹、水下兵器、登月、燃爆冲击等特种领域，急需在微小尺度下对压力、加速度进行高动态、高灵敏测量，为国家特种与军工急需产品提供性能评估和创新设计依据。但传统传感器无法解决以上测量难题，主要因为其本征结构的灵敏度和固有频率相互制约，导致其精度和信噪比差、信号失真等。该项目历时10年，提出了基于微纳力学耦合、干扰预处理及无频损失封装的传感器设计新思路，发明了高动态MEMS压阻式特种传感器及系列产品，解决了国防及石化等领域的应用急需。获授权发明专利53项，两项成果通过了技术和新产品鉴定，鉴定专家组认为：“研制的微型高频高压产品的综合技术达到了国际先进水平”、“压阻式自由场压力传感器属国内首创，打破了美国PCB公司的垄断与封锁”。开发的高动态MEMS压阻式特种压力/加速度传感器及系列产品在航空航天发动机、卫星发射、石油开采运输等国家标志性科学工程与国防项目上实现了典型应用和产业化，经济社会效益显著，打破了国外垄断，为高性能传感器的国产化做出了突出贡献。